中山大学单一来源采购中山大学电子与信息工程学院电子束光刻机升级改造采购项目征求意见公示

一、项目信息

采购人：中山大学

项目名称：中山大学电子与信息工程学院电子束光刻机升级改造采购项目

预算金额：198.00万元

拟采购的货物/服务的说明：

旨在更新改造混合集成芯片先导线的既有电子束光刻设备。设备升级改造内容包含配套激光光纤（含耦合器）、配套激光光源、配套镜筒样品仓隔离阀升级套件、数量不少于3套的肖特基热场发射灯丝及配套光阑组件以及新版曝光系统的主控电脑及曝光控制软件。

主要技术要求：1.配套激光光纤（含耦合器）；2.配套激光控制器及激光光源；3.配套镜筒样品仓隔离阀升级套件；4.肖特基热场发射灯丝及配套光阑组件，数量不少于3套；5.匹配30kV曝光系统的主控电脑及曝光控制软件。

交付时间要求：2025年10月15日之前。

交付地点要求：广州市海珠区中山大学南校园557栋。

二、采用单一来源采购方式的原因及说明

电子与信息工程学院拟对现有超高分辨率电子束光刻系统（品牌型号：Raith eline 150）进行更新改造，更换整套高精度激光反射定位装置，经专家论证，设备升级需要与原有设备的电气结构、驱动控制系统、接口匹配，只有原厂供应商才能完成，符合《中华人民共和国政府采购法》第三十一条第（一）款的情形，拟采用单一来源方式采购。

三、拟定供应商信息

供应商名称：锐时科技（北京）有限公司

四、公示期限

2025年4月4日至2025年4月11日

五、联系方式

潜在政府采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至中山大学政府采购与招投标管理中心（地址：广东省广州市海珠区新港西路135号415栋309室，联系人：刘老师，联系电话：020-84115091）。